愛(ài)德華EH1200 羅茨真空泵真空泵

概述

EH 機械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎，仍是最受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會(huì )暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

應用

半導體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過(guò) 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場(chǎng)合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現出更高的可靠性。

EH 泵具有高質(zhì)量的無(wú)油泵送機械裝置。這可提供：

安靜的無(wú)振動(dòng)運行。

牢靠且防腐蝕。

先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì )出現油污染

防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒(méi)有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著(zhù)的內部和外部旁通管道及閥門(mén)，因此可將維護要求降到最低。

軸封的設計經(jīng)過(guò)優(yōu)化，可確保潤滑劑無(wú)法進(jìn)入泵送機械裝置中。這可在需要最高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動(dòng)態(tài)平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設備的制造商所需要的。